使用流量控制器害怕什么?
怕粉塵, 若粉塵進入流量計會堵塞傳感器和分流器, 造成測量誤差, 要求在進氣口前加裝過濾器;
怕液體和油污進入MFC, 會造成失控, 如果MFC的出口接有液體罐, 需要在MFC出口加上單向閥, 防止液體回流;
怕使用潮濕的腐蝕性氣體, 潮濕的腐蝕性氣體會使不銹鋼生銹, 造成MFC通道損壞, 因此要求在使用腐蝕性氣體前, 要對氣體和MFC管路系統進行干燥處理;
怕在使用強腐蝕性、有毒等危害性氣體時不按安全規則操作, 有可能造成產品損壞和其它更嚴重的損失。正確使用, 安全操作, 對每個用戶都是重要的。
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質量流量控制器主要參數
質量流量精度: ±0.002×流量±零點漂移
密度測量精度: ±0.003g/cm3
密度測量范圍: 0.5~1.5g/cm3
溫度測量范圍: ±1°C
傳感器相關數據:
環境溫度: -40~60°C
介質溫度: -50~200°C
防爆類型: iBⅡBT3
關聯設備: 配套變送器
(3) 變送器相關數據:
工作溫度: 0~60°C
相對濕度: 95%以下
電 源: 220±10%VAC,50Hz或24±5%VDC,40W
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流量控制器
怎樣進行不同氣體的質量流量換算?
產品出廠一般是按氮氣標定﹑按氮氣流量確定流量規格。用同一規格的MFM/MFC測量不同的氣體,當流量檢測值相同時,實際的流量值可能不同。我們在說明書中給出了不同氣體相對于標定氣體(氮氣)的質量流量轉換系數。
如果您使用的產品是標準出廠產品(按氮氣標定顯示),而需要知道實際使用氣體的質量流量時,先在產品說明書中找到實際使用氣體的轉換系數。在測量過程中,以此系數乘以流量顯示值即是實際使用氣體的質量流量;用戶使用MFC時,無論用戶工作的反應室是真空還是高壓,應做到使MFC進出氣兩端的壓差保持在所要求壓差范圍之內,并且要求氣壓要相對穩定。反之,在確定所購產品的量程時,以實際使用氣體的期望流量值除以轉換系數,即是相應的氮氣標定產品的流量值。
空氣、O2﹑H2﹑CO﹑HCL、HF等氣體,其轉換系數約為1.0 , 一般可直接用按氮氣標定顯示的產品,不必換算。