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公司基本資料信息
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PEM050 電子步進泵可在 PTFE 流體路徑中精確分配 1-50 毫升腐蝕性介質(zhì)，用于化學(xué)補充、混合、計量和加料應(yīng)用。這些可靠的泵具有完全支撐的滾動隔膜，可最大限度地提高排放壓力能力。正控制閥通過消除止回閥常見的可變性來確保準(zhǔn)確性。它們提供最多 5 個排放端口，可通過可編程系統(tǒng)邏輯獨立控制。
PPM100 氣動計量泵可在 PTFE 流體路徑中精確分配高達 100 毫升的高純度化學(xué)品。它采用全支撐滾動隔膜操作，以最大程度地提高排放壓力能力。兩個正控制閥通過消除止回閥常見的可變性來確保準(zhǔn)確性。
White Knight 計量泵提供可調(diào)節(jié)的流量，可用于單晶圓處理工具或預(yù)混容器，以確保精確的化學(xué)混合物，并允許直接在頭部進行現(xiàn)場混合。這些泵可精確分配高純度化學(xué)品，用于補充、混合、計量和加料應(yīng)用，以及清潔 CVD 設(shè)備和光刻。它們是光刻膠、蝕刻和清潔工藝、食人魚混合物中的過氧化物加料以及在引入基材之前將化學(xué)混合物混合到工藝罐中的理想選擇。
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PEM050
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PPM100
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|---|---|---|
| 分配范圍 |
每沖程 1 - 50 毫升
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每沖程 10 - 100 毫升
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| 分配重復(fù)性 |
± 0.01%（滿量程）
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± 0.1%（滿量程）
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| 每分鐘循環(huán)次數(shù) |
最高可達 6 CPM
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最高可達 12 CPM
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每循環(huán)空氣消耗量SCF |
1-3 標(biāo)準(zhǔn)立方英尺/分鐘
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0.038-0.048 標(biāo)準(zhǔn)立方英尺/分鐘
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| 流體路徑材料 |
聚四氟乙烯
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聚四氟乙烯
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| 閥門驅(qū)動 氣壓 |
4.14 - 5.52 巴
（60 - 80 磅/平方英寸） |
4.14 - 5.86 巴
（60 - 85 磅/平方英寸） |
| 最大排氣壓力 |
3.8 巴
（55 磅/平方英寸） |
5.86 巴
（85 磅/平方英寸） |
| 溫度能力 |
最高 100°C
(212°F) |
最高 100°C
(212°F) |
| 重量 |
2.95 千克
（6.5 磅） |
1.6 千克
（3.5 磅） |
| 吸程* |
4.6 米
（15 英尺） |
4.6 米
（15 英尺） |
| 溝通 |
串行、以太網(wǎng)或數(shù)字（0-5 V、0-10 V、4-20 mA）
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-
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| 泄漏檢測選項 |
閥門位置傳感
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閥門位置傳感
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PEM050
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PPM100
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*吸力隨時間減小。建議安裝高度低于源頭上方 4.6 米（15 英尺）。優(yōu)化的參數(shù)可以提高重復(fù)性（高達 ± 0.01%）。盡量減少吸力以最大程度地提高重復(fù)性。測試在環(huán)境溫度下用水進行。分配范圍在全行程測量，最大和最小供應(yīng)壓力分別為 80 psi 和 60 psi。詳情請聯(lián)系 White Knight。
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“A”
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“B”
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|---|---|---|
| PEM050-02 |
2.7（69）
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11.0（279）
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| PEM050-03 |
4.2（107）
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12.5（318）
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| PEM050-04 |
4.2（107）
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12.5（318）
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| PEM050-05 |
5.7（145）
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14.0（356）
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| PEM050-06 |
5.7（145）
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14.0（356
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